[PRNewswire] 램리서치, 인테그리스, 젤레스트, EUV 건식(드라이) 레지스트 기술
생태계 발전 위해 협력
-- 전략적 파트너십 통해 획기적인 기술 개발로 글로벌 반도체 제조업체에 강력한 케미컬 공급망 제공 및 차세대 EUV 도입 위한 R&D 지원
(샌프란시스코, 캘리포니아, 2022년 7월 19일 PRNewswire=연합뉴스) 램리서치(NASDAQ: LRCX), 인테그리스(Entegris, Inc. NASDAQ: ENTG), 미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트(Gelest, Inc. a Mitsubishi Chemical Group company)는 미국 현지 시간 7월 12일 글로벌 반도체 제조업체의 차세대 반도체 생산에 사용되는 램리서치의 혁신적인 EUV 리소그래피용 건식(드라이) 포토레지스트 기술[https://blog.naver.com/PostView.naver?blogId=lam-r-korea&logNo=221827633097&categoryNo=9&parentCategoryNo=&from=thumbnailList ]의 프리커서(전구체) 화학 물질의 안정적인 공급을 위한 전략적 파트너십 채결했다고 발표했다. 세 회사는 EUV 건식(드라이) 레지스트 기술에 대한 이번 연구개발(R&D) 파트너십을 통해 머신 러닝, 인공 지능에서부터 모바일 기기에 이르기까지 차세대 디바이스의 로직 및 DRAM 개발에 협력할 예정이다.
안정적인 프로세스 케미컬(process chemicals) 공급망은 EUV 건식(드라이) 레지스트 기술을 반도체 대량 생산에 통합하는 데 있어 매우 중요하다. 이 새로운 장기적 협력은 성장 중인 건식(드라이) 레지스트 기술 생태계를 더욱 확장하고 반도체 재료 선두 업체로부터 글로벌 시장에 공급 지속성을 위한 규정과 함께 이중 공급원을 제공하게 된다.
또한 램리서치, 인테그리스 및 젤레스트는 High-NA(high numerical aperture) EUV 패터닝을 위한 미래의 비용 효율적인 EUV 건식(드라이) 레지스트 솔루션 개발을 가속화하기 위해 협력하게 된다. High-NA EUV는 향후 수십 년 동안 지속적인 디바이스 스케일링 및 반도체 기술 발전에 필요한 패터닝 기술로 널리 인식되고 있다. 건식(드라이) 레지스트는 High-NA EUV의 감소된 초점 심도 요구 사항을 지원하는 데 필요한 높은 에칭(식각) 저항성과 조정 가능한 두께 스케일링 증착 및 개발을 제공한다.
램리서치의 수석 부사장 겸 최고 기술 책임자(CTO) 릭 가쵸(Rick Gottscho)는 "건식(드라이) 레지스트 기술은 EUV 리소그래피를 사용하여 미래의 DRAM 노드와 로직으로의 확장에 있어 가장 큰 장벽을 무너뜨리는 획기적인 기술"이라며 "이번 협력을 통해 램리서치의 건식(드라이) 레지스트 전문 지식 및 최첨단 솔루션이 프리커서(전구체) 화학 분야 두 선두 업체의 재료 과학 역량 및 신뢰할 수 있는 공급 채널과 결합하게 되었다. 이번 건식(드라이) 레지스트 생태계의 중요한 확장은 이 기술을 이용해 새로운 차원의 혁신과 대량 생산을 위한 길을 열어 줄 것"이라고 밝혔다.
램리서치가 ASML 및 다국적 반도체 연구소 IMEC[https://blog.naver.com/PostView.naver?blogId=lam-r-korea&logNo=221827633097&categoryNo=9&parentCategoryNo=&from=thumbnailList ] 과의 협력으로 처음 개발한 건식(드라이) 레지스트는 EUV 리소그래피의 해상도, 생산성 및 수율을 개선하여 차세대 DRAM 및 로직 기술 개발과 관련된 주요 문제를 해결한다. 건식(드라이) 레지스트 공정은 낮은 조사량(DtS) 및 도즈 결함 성능을 제공하여 EUV 스캐너 생산성을 높이고 소유 비용(cost of ownership)을 낮출 수 있다. 또한, 기존의 레지스트 공정에 비해 에너지를 절감하고 원자재를 5~10배 적게 소비함으로써 지속 가능성 관련 주요 이점을 제공한다.
인테그리스의 CEO 베르트랑 로이(Bertrand Loy)는 "램리서치의 건식(드라이) 레지스트 접근 방식은 재료 단계에서 주요 혁신을 반영하며 더 나은 해상도, 개선된 비용 효율성 및 탁월한 지속 가능성 혜택을 비롯한 광범위한 이점을 제공한다."라며 "우리는 이 혁신적인 협업에 참여하여 건식(드라이) 레지스트의 도입을 가속화하고 고객이 이처럼 중요한 기술로 차세대 반도체 제품을 생산하는 데 신뢰할 수 있는 프로세스 재료 공급업체로 자리매김하게 된 것을 자랑스럽게 생각한다."라고 밝혔다.
미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트의 조나단 고프(Jonathan Goff) 회장은 "EUV 리소그래피용 건식(드라이) 레지스트를 발전시키기 위한 램리서치, 인테그리스와의 협력은 반도체 제조업체가 재료 과학 분야에서 혁신을 이룰 수 있도록 지원하고자 하는 우리의 의지를 보여준다."라며 "최근 몇 년 동안 EUV가 뛰어난 가치를 입증하는 것을 목격했으며 그 잠재력을 확대하기 위해 성장하는 생태계의 일원이 된 것을 기쁘게 생각한다."라고 말했다.
램리서치 소개
램리서치는 반도체 산업에 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 제공하는 글로벌 공급업체이다. 램리서치의 장비와 서비스를 통해 고객은 더 작고 우수한 성능의 장치를 구현할 수 있다. 사실상 오늘날 거의 모든 최첨단 반도체 칩은 램리서치의 기술력으로 생산되고 있다. 램리서치는 우수한 시스템 엔지니어링, 기술 리더십, 강력한 가치 기반 문화를 바탕으로 고객에 대한 확고한 약속을 이행한다. 램리서치(Nasdaq: LRCX)는 FORTUNE 500® 기업으로, 캘리포니아 프리몬트에 본사가 있으며, 전 세계 각지에 사업부를 두고 있다. 램리서치에 대한 보다 자세한 사항은 www.lamresearch.com/ko에서 확인할 수 있다. (LRCX-T)
인테그리스 소개
인테그리스는 반도체 시장의 전자 재료 분야에서 세계적인 선두 업체이다. 전 세계적으로 약 8,800명의 직원을 보유한 인테그리스는 반도체 고객을 위해 업계에서 가장 포괄적이고 혁신적인 유닛 중심의 end-to-end 제품 및 솔루션을 비롯해 생명 과학 및 기타 첨단 제조 환경을 위한 솔루션을 제공한다. 인테그리스의 솔루션은 고객의 성능, 생산성 및 수율을 개선하여 세상을 변화시키는 기술을 실현하도록 지원한다. 미국, 캐나다, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 한국 및 대만에 제조, 고객 서비스 센터 및/또는 연구 시설을 갖추고 있다. 인테그리스에 대한 자세한 내용은 www.entegris.com을 방문하거나 LinkedIn, Twitter, Facebook 및 Instagram에서 인테그리스를 팔로우하여 확인할 수 있다.
젤레스트 소개
젤레스트는 의료 기기, 생명 과학, 코팅 및 접착제, 초소형 전자기술, 개인용 위생 제품을 포함하여 첨단 기술 소비자 시장에 서비스를 제공하며 미국에 본사를 둔 특수 실리콘, 유기 실란, 금속 유기물 및 아크릴레이트 모노머의 혁신업체 및 제조업체이자 글로벌 공급업체이다. 미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트는 세계에서 가장 규모가 크고 가장 성공을 거둔 화학 기업 중 한 곳으로 전문 지식, 연구개발 지원 및 자원을 활용한다. 젤레스트는 최첨단 화학 기술, 제품 및 서비스를 개발하여 사회의 가장 복잡한 재료 과학 문제를 해결함으로써 고객의 성공에 기여하도록 지원한다.
미래예측 진술에 관한 주의사항
이 보도 자료에서 역사적 사실이 아닌 진술은 미래 예측 진술이며 1995년 증권 민사 소송 개혁법(Private Securities Litigation Reform Act)에 의해 만들어진 세이프 하버 조항의 적용을 받습니다. 이러한 미래 예측 진술은 다음과 관련이 있으나 이에 국한되지는 않습니다. 램리서치, 인테그리스 및 젤레스트가 툴 및 화학 물질을 충분한 양과 품질, 그리고 고객 요구를 충분히 충족시킬 수 있을 만큼 시기적절하게 공급할 수 있는 능력, 당사자의 협력에 의해 전달되는 기간, 목표 또는 결과, 램의 툴 및 공정의 성능, 특히 램의 건식(드라이) 레지스트 기술을 사용하여 얻는 성능과 이점, EUV 리소그래피의 비용과 생산성에 대한 신기술의 영향, EUV 리소그래피의 생산성 및 해상도 개선의 필요성, 신기술을 사용하여 절약한 에너지 또는 원자재의 양, 산업 협력의 이점. 이러한 진술은 현재 예상을 근거로 하며 당사가 증권 거래 위원회에 제출하거나 제공한 문서에 기술된 위험 및 불확실성을 포함하여 위험, 불확실성 및 조건, 중요성, 가치, 영향의 변경에 영향을 받습니다. 특히 램리서치의 2021년 6월 27일에 마감된 회계 연도의 양식 10-K(Form 10-K) 연례 보고서 및 2022년 3월 26일에 마감된 분기의 양식 10-Q(Form 10-Q) 분기 보고서에 설명된 위험 요소가 이에 포함됩니다. 2021년 12월 31일에 마감된 인테그리스 회계 연도의 양식 10-K(Form 10-K)에 대한 연례 보고서 및 2022년 4월 2일에 마감된 분기의 양식 10-Q(Form 10-Q)에 대한 분기 보고서에 설명된 위험 요소가 이에 포함됩니다. 이러한 불확실성과 변화는 미래 예측 진술에 중대한 영향을 미칠 수 있으며 실제 결과는 예상과 구체적으로 다를 수 있습니다. 회사는 이 보도 자료에 작성된 정보 또는 진술을 업데이트할 의무가 없습니다.
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Entegris, Inc.
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Gelest, Inc, a Mitsubishi Chemical Group company
Source: Lam Research Corporation
[편집자 주] 이 보도자료는 자료 제공사에서 제공한 것으로, 연합뉴스는 내용에 대해 어떠한 편집도 하지 않았으며, 연합뉴스의 편집방향과는 무관함을 밝혀 드립니다.
(끝)
출처 : PRNewswire 보도자료
생태계 발전 위해 협력
-- 전략적 파트너십 통해 획기적인 기술 개발로 글로벌 반도체 제조업체에 강력한 케미컬 공급망 제공 및 차세대 EUV 도입 위한 R&D 지원
(샌프란시스코, 캘리포니아, 2022년 7월 19일 PRNewswire=연합뉴스) 램리서치(NASDAQ: LRCX), 인테그리스(Entegris, Inc. NASDAQ: ENTG), 미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트(Gelest, Inc. a Mitsubishi Chemical Group company)는 미국 현지 시간 7월 12일 글로벌 반도체 제조업체의 차세대 반도체 생산에 사용되는 램리서치의 혁신적인 EUV 리소그래피용 건식(드라이) 포토레지스트 기술[https://blog.naver.com/PostView.naver?blogId=lam-r-korea&logNo=221827633097&categoryNo=9&parentCategoryNo=&from=thumbnailList ]의 프리커서(전구체) 화학 물질의 안정적인 공급을 위한 전략적 파트너십 채결했다고 발표했다. 세 회사는 EUV 건식(드라이) 레지스트 기술에 대한 이번 연구개발(R&D) 파트너십을 통해 머신 러닝, 인공 지능에서부터 모바일 기기에 이르기까지 차세대 디바이스의 로직 및 DRAM 개발에 협력할 예정이다.
안정적인 프로세스 케미컬(process chemicals) 공급망은 EUV 건식(드라이) 레지스트 기술을 반도체 대량 생산에 통합하는 데 있어 매우 중요하다. 이 새로운 장기적 협력은 성장 중인 건식(드라이) 레지스트 기술 생태계를 더욱 확장하고 반도체 재료 선두 업체로부터 글로벌 시장에 공급 지속성을 위한 규정과 함께 이중 공급원을 제공하게 된다.
또한 램리서치, 인테그리스 및 젤레스트는 High-NA(high numerical aperture) EUV 패터닝을 위한 미래의 비용 효율적인 EUV 건식(드라이) 레지스트 솔루션 개발을 가속화하기 위해 협력하게 된다. High-NA EUV는 향후 수십 년 동안 지속적인 디바이스 스케일링 및 반도체 기술 발전에 필요한 패터닝 기술로 널리 인식되고 있다. 건식(드라이) 레지스트는 High-NA EUV의 감소된 초점 심도 요구 사항을 지원하는 데 필요한 높은 에칭(식각) 저항성과 조정 가능한 두께 스케일링 증착 및 개발을 제공한다.
램리서치의 수석 부사장 겸 최고 기술 책임자(CTO) 릭 가쵸(Rick Gottscho)는 "건식(드라이) 레지스트 기술은 EUV 리소그래피를 사용하여 미래의 DRAM 노드와 로직으로의 확장에 있어 가장 큰 장벽을 무너뜨리는 획기적인 기술"이라며 "이번 협력을 통해 램리서치의 건식(드라이) 레지스트 전문 지식 및 최첨단 솔루션이 프리커서(전구체) 화학 분야 두 선두 업체의 재료 과학 역량 및 신뢰할 수 있는 공급 채널과 결합하게 되었다. 이번 건식(드라이) 레지스트 생태계의 중요한 확장은 이 기술을 이용해 새로운 차원의 혁신과 대량 생산을 위한 길을 열어 줄 것"이라고 밝혔다.
램리서치가 ASML 및 다국적 반도체 연구소 IMEC[https://blog.naver.com/PostView.naver?blogId=lam-r-korea&logNo=221827633097&categoryNo=9&parentCategoryNo=&from=thumbnailList ] 과의 협력으로 처음 개발한 건식(드라이) 레지스트는 EUV 리소그래피의 해상도, 생산성 및 수율을 개선하여 차세대 DRAM 및 로직 기술 개발과 관련된 주요 문제를 해결한다. 건식(드라이) 레지스트 공정은 낮은 조사량(DtS) 및 도즈 결함 성능을 제공하여 EUV 스캐너 생산성을 높이고 소유 비용(cost of ownership)을 낮출 수 있다. 또한, 기존의 레지스트 공정에 비해 에너지를 절감하고 원자재를 5~10배 적게 소비함으로써 지속 가능성 관련 주요 이점을 제공한다.
인테그리스의 CEO 베르트랑 로이(Bertrand Loy)는 "램리서치의 건식(드라이) 레지스트 접근 방식은 재료 단계에서 주요 혁신을 반영하며 더 나은 해상도, 개선된 비용 효율성 및 탁월한 지속 가능성 혜택을 비롯한 광범위한 이점을 제공한다."라며 "우리는 이 혁신적인 협업에 참여하여 건식(드라이) 레지스트의 도입을 가속화하고 고객이 이처럼 중요한 기술로 차세대 반도체 제품을 생산하는 데 신뢰할 수 있는 프로세스 재료 공급업체로 자리매김하게 된 것을 자랑스럽게 생각한다."라고 밝혔다.
미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트의 조나단 고프(Jonathan Goff) 회장은 "EUV 리소그래피용 건식(드라이) 레지스트를 발전시키기 위한 램리서치, 인테그리스와의 협력은 반도체 제조업체가 재료 과학 분야에서 혁신을 이룰 수 있도록 지원하고자 하는 우리의 의지를 보여준다."라며 "최근 몇 년 동안 EUV가 뛰어난 가치를 입증하는 것을 목격했으며 그 잠재력을 확대하기 위해 성장하는 생태계의 일원이 된 것을 기쁘게 생각한다."라고 말했다.
램리서치 소개
램리서치는 반도체 산업에 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 제공하는 글로벌 공급업체이다. 램리서치의 장비와 서비스를 통해 고객은 더 작고 우수한 성능의 장치를 구현할 수 있다. 사실상 오늘날 거의 모든 최첨단 반도체 칩은 램리서치의 기술력으로 생산되고 있다. 램리서치는 우수한 시스템 엔지니어링, 기술 리더십, 강력한 가치 기반 문화를 바탕으로 고객에 대한 확고한 약속을 이행한다. 램리서치(Nasdaq: LRCX)는 FORTUNE 500® 기업으로, 캘리포니아 프리몬트에 본사가 있으며, 전 세계 각지에 사업부를 두고 있다. 램리서치에 대한 보다 자세한 사항은 www.lamresearch.com/ko에서 확인할 수 있다. (LRCX-T)
인테그리스 소개
인테그리스는 반도체 시장의 전자 재료 분야에서 세계적인 선두 업체이다. 전 세계적으로 약 8,800명의 직원을 보유한 인테그리스는 반도체 고객을 위해 업계에서 가장 포괄적이고 혁신적인 유닛 중심의 end-to-end 제품 및 솔루션을 비롯해 생명 과학 및 기타 첨단 제조 환경을 위한 솔루션을 제공한다. 인테그리스의 솔루션은 고객의 성능, 생산성 및 수율을 개선하여 세상을 변화시키는 기술을 실현하도록 지원한다. 미국, 캐나다, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 한국 및 대만에 제조, 고객 서비스 센터 및/또는 연구 시설을 갖추고 있다. 인테그리스에 대한 자세한 내용은 www.entegris.com을 방문하거나 LinkedIn, Twitter, Facebook 및 Instagram에서 인테그리스를 팔로우하여 확인할 수 있다.
젤레스트 소개
젤레스트는 의료 기기, 생명 과학, 코팅 및 접착제, 초소형 전자기술, 개인용 위생 제품을 포함하여 첨단 기술 소비자 시장에 서비스를 제공하며 미국에 본사를 둔 특수 실리콘, 유기 실란, 금속 유기물 및 아크릴레이트 모노머의 혁신업체 및 제조업체이자 글로벌 공급업체이다. 미쓰비시 케미칼 그룹 회사인 젤레스트는 세계에서 가장 규모가 크고 가장 성공을 거둔 화학 기업 중 한 곳으로 전문 지식, 연구개발 지원 및 자원을 활용한다. 젤레스트는 최첨단 화학 기술, 제품 및 서비스를 개발하여 사회의 가장 복잡한 재료 과학 문제를 해결함으로써 고객의 성공에 기여하도록 지원한다.
미래예측 진술에 관한 주의사항
이 보도 자료에서 역사적 사실이 아닌 진술은 미래 예측 진술이며 1995년 증권 민사 소송 개혁법(Private Securities Litigation Reform Act)에 의해 만들어진 세이프 하버 조항의 적용을 받습니다. 이러한 미래 예측 진술은 다음과 관련이 있으나 이에 국한되지는 않습니다. 램리서치, 인테그리스 및 젤레스트가 툴 및 화학 물질을 충분한 양과 품질, 그리고 고객 요구를 충분히 충족시킬 수 있을 만큼 시기적절하게 공급할 수 있는 능력, 당사자의 협력에 의해 전달되는 기간, 목표 또는 결과, 램의 툴 및 공정의 성능, 특히 램의 건식(드라이) 레지스트 기술을 사용하여 얻는 성능과 이점, EUV 리소그래피의 비용과 생산성에 대한 신기술의 영향, EUV 리소그래피의 생산성 및 해상도 개선의 필요성, 신기술을 사용하여 절약한 에너지 또는 원자재의 양, 산업 협력의 이점. 이러한 진술은 현재 예상을 근거로 하며 당사가 증권 거래 위원회에 제출하거나 제공한 문서에 기술된 위험 및 불확실성을 포함하여 위험, 불확실성 및 조건, 중요성, 가치, 영향의 변경에 영향을 받습니다. 특히 램리서치의 2021년 6월 27일에 마감된 회계 연도의 양식 10-K(Form 10-K) 연례 보고서 및 2022년 3월 26일에 마감된 분기의 양식 10-Q(Form 10-Q) 분기 보고서에 설명된 위험 요소가 이에 포함됩니다. 2021년 12월 31일에 마감된 인테그리스 회계 연도의 양식 10-K(Form 10-K)에 대한 연례 보고서 및 2022년 4월 2일에 마감된 분기의 양식 10-Q(Form 10-Q)에 대한 분기 보고서에 설명된 위험 요소가 이에 포함됩니다. 이러한 불확실성과 변화는 미래 예측 진술에 중대한 영향을 미칠 수 있으며 실제 결과는 예상과 구체적으로 다를 수 있습니다. 회사는 이 보도 자료에 작성된 정보 또는 진술을 업데이트할 의무가 없습니다.
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Entegris, Inc.
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Gelest, Inc, a Mitsubishi Chemical Group company
Source: Lam Research Corporation
[편집자 주] 이 보도자료는 자료 제공사에서 제공한 것으로, 연합뉴스는 내용에 대해 어떠한 편집도 하지 않았으며, 연합뉴스의 편집방향과는 무관함을 밝혀 드립니다.
(끝)
출처 : PRNewswire 보도자료
